有机硅柔软剂的发展历史可追溯到20世纪40年代，其发展历程经历了多个重要的阶段。

早在1940年，人们就开始尝试用二甲基二氯硅烷浸渍织物，以期获得某种防水效果。然而，这一技术当时并未被纺织工业广泛采用。随后，在1945年，美国通用电气公司的研究人员用甲基硅醇钠的碱性溶液浸渍织物，虽然获得了一定的防水效果，但同样存在不足。

20世纪50年代初，美国道康宁公司发现了含Si-H结构的聚硅氧烷处理织物具有很好的防水效果和良好的透气性，但手感偏硬且硅膜易脱落。为了改进这一点，道康宁公司将其与聚二甲基硅氧烷（PDMS）并用，从而不仅增强了防水效果，还显著改善了手感。这一时期的有机硅柔软剂，即第一代有机硅柔软剂，主要是二甲基硅油的机械混合物，虽然与织物结合不够牢固且不耐水洗，但其出现为有机硅柔软剂的发展奠定了基础。

随后，研究者们开发了羟基封头的第二代有机硅乳液，这类柔软剂能在织物表面形成网状交联结构，显著提升了织物的柔软性、耐水洗性和稳定性。然而，由于其功能单一且易破乳漂油，因此并未得到广泛应用。

近年来，第三代和第四代有机硅柔软剂相继出现。第三代有机硅柔软剂通过在聚硅氧烷的主链或侧链上引入其他链段或活性基团，大幅提升了织物的柔软性和综合性能。而第四代有机硅柔软剂则进一步改性，引入了更多活性基团，从而无需复配便能满足织物在柔软性、耐水洗性、弹性和亲水性等多方面的处理需求。